1985 年 4 月,中电科 45 所的实验室里。
机器轰鸣声不绝于耳,空气中弥漫着机油和酒精的味道。
林越和王建国带领团队,正在对 BG-101 光刻机进行光学系统改造。
王建国穿着沾满油污的工作服,蹲在设备旁。
小心翼翼地安装着刚从上海运来的 K9 高精度镜片。
额头上布满了汗珠,顺着脸颊滑落。
实验室的桌上摆满了扳手、螺丝刀、游标卡尺等工具。
还有厚厚的一摞技术手册,页角己经被翻得卷起泛黄。
“林越,镜片安装好了。”
王建国站起身,抹了把汗,脸上沾了一道油污。
“要不要先测试一下光学精度?”
林越点点头,眼神专注:“好,启动电源。”
“用示波器测试光学成像效果,参数记录在纸质表格上。”
团队成员立刻忙碌起来,有人打开笨重的电源开关。
红色的指示灯亮起,发出轻微的嗡鸣声。
有人调整示波器的旋钮,屏幕上出现波动的绿色波形。
还有人拿着纸笔,俯身记录着每一组数据。
【系统奖励石英玻璃精密研磨技术碎片,将国产石英玻璃加工精度从0.05mm提升至0.02mm】
就在这时,实验室门口传来一阵脚步声。
老工程师孙卫国带着几个年轻工程师走了进来。
孙卫国头发花白,穿着洗得发白的工装。
手里拿着一个放大镜,脸上带着严肃的表情。
他是 45 所的资深专家,一辈子都在研究光刻机。
对 BG-101 的情况了如指掌,亲手参与了早期的设计研发。
“林越,你们这是在瞎折腾什么?”
孙卫国走到设备旁,用放大镜打量着新装的镜片。
语气里满是质疑:“BG-101 的光学系统,我最清楚不过。”
“国外专家都认定,这套系统的理论良率上限就是 70%,我参与设计十年,这套系统理论上限就是 70%,你不可能破!”
“你们换几片镜片,就能突破 80%?简首是天方夜谭!”
身后的年轻工程师们也纷纷附和。
“孙工说得对,林工程师太年轻了,想法太理想化。”
“国外的技术都达不到,我们怎么可能做到?”
【系统:检测到老专家质疑,可公开光路核心数据自证】
林越没有生气,反而笑着解释:“孙工,您是前辈,我尊重您的经验。”
“但技术一首在进步,之前的理论上限,是因为没有找到优化路径。”
“我们不仅换了 K9 高精度镜片,还重新设计了光路结构。”
“减少了光损耗,提高了成像精度,良率自然能提升。”
他递过一份手绘的光路优化图:“您看,这是我们的改进方案。”
“每个参数都经过了反复演算,不是凭空猜测。”
孙卫国接过图纸,眯着眼睛仔细看着。
手指在图纸上轻轻滑动,眉头渐渐皱了起来。
他不得不承认,这份方案设计得十分巧妙。
很多细节都考虑到了,甚至弥补了他当年设计时的疏漏。
“图纸看着是不错,但理论终究是理论。”
孙卫国放下图纸,语气依旧强硬:“实践是检验真理的唯一标准。”
“今天我倒要看看,你们的改造到底有没有效果。”
林越点点头:“好,那我们现在就进行良率测试。”
“按照生产标准,连续加工 100 片晶圆,统计合格数量。”
王建国立刻指挥团队启动测试程序。
光刻机的机械臂缓缓伸出,精准地抓取一片晶圆。
送入设备内部,设备开始高速运转。
实验室里只剩下机器的嗡鸣声和笔尖划过纸张的沙沙声。
孙卫国和年轻工程师们围在参数记录表旁。
眼睛紧紧盯着记录员手中的笔,生怕错过一个数据。
时间一分一秒地过去,每一片晶圆加工完成。
都会由专人取出,放在检测台上用放大镜观察。
合格的就用红笔在表格上画勾,不合格的则用蓝笔标注。
“第 10 片,合格!”
“第 25 片,合格!”
“第 50 片,合格!”
随着合格数量不断增加,年轻工程师们的议论声渐渐小了。
孙卫国的表情也从质疑变成了惊讶,手里的放大镜都差点掉在地上。
当记录员报出 “第 82 片,合格” 时,实验室里突然爆发欢呼。
“82 片合格!良率 82%!突破 80% 了!”
“我们成功了!BG-101 真的做到了!”
团队成员们互相击掌,脸上洋溢着激动的笑容。
王建国更是激动得说不出话,紧紧抱住了林越。
孙卫国愣在原地,半天没有回过神。
他反复看着表格上的红勾,又看了看运转正常的光刻机。
眼中充满了难以置信:“这…… 这怎么可能?”
“我们真的突破了国外专家认定的上限?”
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